หัววัดแบบสัมผัส

เมื่อวัดด้วยหัววัดแบบจุดเดียว จะทำการวัดแค่จุดเดียวเท่านั้นในแต่ละจุด จากนั้นต้องย้ายสไตลัสและทำกระบวนการซ้ำ สภาวะระหว่างจุดวัดจะคำนวณจากการประมาณค่าในช่วง ซึ่งอาจนำไปสู่การเบี่ยงเบนในการวัด การวัดด้วยหัววัดแบบจุดเดียวเหมาะสำหรับปริมาณงานต่ำและค่าพิกัดความเผื่อกว้าง สามารถใช้ร่วมกับ ZEISS RDS ได้

ในกระบวนการสแกน หัววัดจะเคลื่อนที่อย่างราบรื่นและต่อเนื่อง โดยทำการวัดจุดหลายร้อยจุดตามเส้นทางในระยะเวลาอันสั้นขณะที่สไตลัสเคลื่อนที่บนพื้นผิว ขั้นตอนการทำงานนี้ไม่เพียงแต่ให้ข้อมูลมากขึ้นอย่างมีนัยสำคัญด้วยปริมาณงานที่สูงขึ้นเท่านั้น แต่ยังช่วยประหยัดเวลาได้มาก

หัววัดสแกนเหมาะสำหรับอัตราปริมาณงานที่สูงพร้อมระดับความแม่นยำที่ยอดเยี่ยม